Effect of Selected Ionic Inorganic Surface Contaminants on Thermal Oxidation of p-Type Polished Silicon Wafers
Scott, William D. S., Stevenson, AlanТом:
151
Рік:
2004
Мова:
english
Журнал:
Journal of The Electrochemical Society
DOI:
10.1149/1.1628239
Файл:
PDF, 409 KB
english, 2004