Ultra-shallow junction formation by B18H22 ion implantation

Y. Kawasaki, T. Kuroi, T. Yamashita, K. Horita, T. Hayashi, M. Ishibashi, M. Togawa, Y. Ohno, M. Yoneda, Tom Horsky, Dale Jacobson, Wade Krull

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

237

Рік:

2005

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.nimb.2005.04.073

Файл:

PDF, 225 KB

english, 2005

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась