Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
2006 Vol. 253; Iss. 1-2
Advanced dopant and self-diffusion studies in silicon
Hartmut BrachtТом:
253
Рік:
2006
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1016/j.nimb.2006.10.015
Файл:
PDF, 344 KB
english, 2006