Analysis of photoluminescence spectra for detection of stress-induced defects in silicon substrates after the polycrystalline diamond film deposition
Victor S. Bagaev, Denis F. Aminev, Tatiana I. Galkina, Andrey Yu. Klokov, Vladimir S. Krivobok, Victor G. RalchenkoТом:
404
Рік:
2009
Мова:
english
Сторінки:
3
DOI:
10.1016/j.physb.2009.08.138
Файл:
PDF, 194 KB
english, 2009