Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів

SiCl4/Cl2 plasmas: A new chemistry to etch high-k materials...

  • Main
  • SiCl4/Cl2 plasmas: A new chemistry to...

SiCl4/Cl2 plasmas: A new chemistry to etch high-k materials selectively to Si-based materials

P. Bodart, G. Cunge, O. Joubert, T. Lill
Наскільки Вам сподобалась ця книга?
Яка якість завантаженого файлу?
Скачайте книгу, щоб оцінити її якість
Яка якість скачаних файлів?
Рік:
2012
Мова:
english
DOI:
10.1116/1.3679551
Файл:
PDF, 1.02 MB
english, 2012
Виконується конвертація в
Конвертація в не вдалась