Low-temperature solid-phase crystallization of amorphous...

Low-temperature solid-phase crystallization of amorphous silicon thin films deposited by rf magnetron sputtering with substrate bias

Jun, Seung-Ik, Rack, Philip D., McKnight, Timothy E., Melechko, Anatoli V., Simpson, Michael L.

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2006

Мова:

english

Журнал:

Applied Physics Letters

DOI:

10.1063/1.2219136

Файл:

PDF, 437 KB

english, 2006

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась