Fabrication of strained silicon on insulator by strain transfer process
Jin, Bo, Wang, Xi, Chen, Jing, Cheng, Xinli, Chen, ZhijunТом:
87
Рік:
2005
Мова:
english
Журнал:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.1991987
Файл:
PDF, 325 KB
english, 2005