Design study of high energy, high current, R.F. accelerators for ion implantation
R.W. Thomae, H. Deitinghoff, J. Häuser, H. Klein, P. Leipe, A. Schempp, T. Weis, J. Bannenberg, W. Urbanus, R. Wojke, P.W. van AmersfoortТом:
2
Рік:
1989
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/0921-5107(89)90102-5
Файл:
PDF, 392 KB
english, 1989