Experimental determination of silicon pressure sensor diaphragm deflection
Zoran Djurić, Milan Matić, Jovan Matović, Radomir Petrovíc, Nevenka SimičićТом:
24
Рік:
1990
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/0924-4247(90)80053-8
Файл:
PDF, 467 KB
english, 1990