Temperature characteristics of microcrystalline and polycrystalline silicon pressure sensors
Shuwen Guo, Songshen Tan, Weiyuan WangТом:
21
Рік:
1990
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/0924-4247(90)85025-y
Файл:
PDF, 325 KB
english, 1990