Silicon dissolution regimes from chemical vapour etching:...

Silicon dissolution regimes from chemical vapour etching: from porous structures to silicon grooving

A.Ben Jaballah, M. Saadoun, M. Hajji, H. Ezzaouia, B. Bessaı̈s

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

238

Рік:

2004

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.apsusc.2004.05.210

Файл:

PDF, 197 KB

english, 2004

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась