Windowless argon excimer source for surface modification
Christian Elsner, Martin Lenk, Lutz Prager, Reiner MehnertТом:
252
Рік:
2006
Мова:
english
Сторінки:
9
DOI:
10.1016/j.apsusc.2005.05.071
Файл:
PDF, 492 KB
english, 2006