Effect of sputtering power on surface topography of dc magnetron sputtered Ti thin films observed by AFM
Yongzhong Jin, Wei Wu, Li Li, Jian Chen, Jingyu Zhang, Youbing Zuo, Jun FuТом:
255
Рік:
2009
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1016/j.apsusc.2008.12.029
Файл:
PDF, 1.79 MB
english, 2009