[IEEE 2010 27th International Conference on...

[IEEE 2010 27th International Conference on Microelectronics Proceedings - Nis, Serbia (2010.05.16-2010.05.19)] 2010 27th International Conference on Microelectronics Proceedings - Effect of RF discharge structure on silicon etching in CF4/O2

Grigoryev, Yu. N., Gorobchuk, A. G.

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Рік:

2010

Мова:

english

DOI:

10.1109/miel.2010.5490516

Файл:

PDF, 203 KB

english, 2010

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась