[IEEE 2011 Winter Simulation Conference - (WSC 2011) -...

[IEEE 2011 Winter Simulation Conference - (WSC 2011) - Phoenix, AZ, USA (2011.12.11-2011.12.14)] Proceedings of the 2011 Winter Simulation Conference (WSC) - Implementing Virtual Metrology into semiconductor production processes - an investment assessment

Koitzsch, Matthias, Merhof, Jochen, Michl, Markus, Noll, Humbert, Nemecek, Alexander, Honold, Alfred, Kleineidam, Gerhard, Lebrecht, Holger

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Рік:

2011

Мова:

english

DOI:

10.1109/wsc.2011.6147915

Файл:

PDF, 697 KB

english, 2011

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась