Consequences of mode structure on plasma properties in electron cyclotron resonance sources
Kinder, Ronald L., Kushner, Mark J.Том:
17
Рік:
1999
Мова:
english
Журнал:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
DOI:
10.1116/1.581978
Файл:
PDF, 707 KB
english, 1999