PZT thin films grown by multi-target sputtering: Analysis of thin film stress
Bruchhaus, R., Pitzer, D., Primig, R., Schreiter, M., Wersing, W.Том:
21
Мова:
english
Журнал:
Integrated Ferroelectrics
DOI:
10.1080/10584589808202086
Date:
September, 1998
Файл:
PDF, 354 KB
english, 1998