Deposition of Ba 1−x Sr x TiO 3 and SrTiO 3 via liquid source CVD (LSCVD) for ULSI DRAMS
McMillan, L. D., Huffman, M., Roberts, T. L., Scott, M. C., Paz De Araujo, C. A.Том:
4
Мова:
english
Журнал:
Integrated Ferroelectrics
DOI:
10.1080/10584589408223876
Date:
June, 1994
Файл:
PDF, 438 KB
english, 1994
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
