Diaphragm design guidelines and an optical pressure sensor based on MEMS technique
Xiaodong Wang, Baoqing Li, Onofrio L. Russo, Harry T. Roman, Ken K. Chin, Kenneth R. FarmerТом:
37
Рік:
2006
Мова:
english
Сторінки:
7
DOI:
10.1016/j.mejo.2005.06.015
Файл:
PDF, 585 KB
english, 2006