Characterisation of the Al2O3 films deposited by ultrasonic...

Characterisation of the Al2O3 films deposited by ultrasonic spray pyrolysis and atomic layer deposition methods for passivation of 4H–SiC devices

Maciej Wolborski, Mietek Bakowski, Armando Ortiz, Viljami Pore, Adolf Schöner, Mikko Ritala, Markku Leskelä, Anders Hallén

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

2006

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.microrel.2005.08.002

Файл:

PDF, 570 KB

english, 2006

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась