Hydrogen passivation effects under negative bias temperature instability stress in metal/silicon-oxide/silicon-nitride/silicon-oxide/silicon capacitors for flash memories
Hee-Dong Kim, Ho-Myoung An, Yujeong Seo, Yongjie Zhang, Jong Sun Park, Tae Geun KimТом:
50
Рік:
2010
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/j.microrel.2009.09.008
Файл:
PDF, 449 KB
english, 2010