Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment
2004 Vol. 521; Iss. 1
Preparation of targets by sputter deposition
Birgit Kindler, Willi Hartmann, Josef Klemm, Bettina Lommel, Jutta SteinerТом:
521
Рік:
2004
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/j.nima.2003.11.153
Файл:
PDF, 335 KB
english, 2004