Study of the influence of NH3 flow rates on the structure and photoluminescence of silicon-nitride films with silicon nanoparticles
A. López-Suárez, J. Fandiño, B.M. Monroy, G. Santana, J.C. AlonsoТом:
40
Рік:
2008
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/j.physe.2008.05.004
Файл:
PDF, 926 KB
english, 2008