A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with...

A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes

Toshiyuki Tsuchiya, Hirofumi Funabashi

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

116

Рік:

2004

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.sna.2004.05.008

Файл:

PDF, 539 KB

english, 2004

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась