Microfabrication of fine-pitch high aspect ratio Faraday cup arrays in silicon
Christopher A. Bower, Kristin H. Gilchrist, Matthew R. Lueck, Brian R. StonerТом:
137
Рік:
2007
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/j.sna.2007.03.022
Файл:
PDF, 1.28 MB
english, 2007