Modeling, fabrication and performance test of an electro-thermal microactuator
Chin-Hsiang Cheng, Chi-Kang Chan, Tsung-Chieh Cheng, Che-Wei Hsu, Guang-Jer LaiТом:
143
Рік:
2008
Мова:
english
Сторінки:
10
DOI:
10.1016/j.sna.2007.11.010
Файл:
PDF, 1.27 MB
english, 2008