Enhanced actuation and acoustic transduction by pressurization of micromachined piezoelectric diaphragms
Dylan J. Morris, Ryan F. Need, Michael J. Anderson, David F. BahrТом:
161
Рік:
2010
Мова:
english
Сторінки:
9
DOI:
10.1016/j.sna.2010.05.028
Файл:
PDF, 473 KB
english, 2010