Space Resolved Optical Emission Spectroscopy During Deposition of BaxSr1-xTiO3 Thin Films by Double Hollow Cathode Plasma Jet System
Olejníček, J., Hubička, Zdenek, Čada, M., Virostko, P., Kment, Š., Adámek, P., Jastrabík, Lubomir, Dejneka, A.Том:
609
Рік:
2009
Мова:
english
Журнал:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.609.105
Файл:
PDF, 688 KB
english, 2009