Simulation Study for HTCVD of SiC Using First-Principles...

Materials Science Forum 2009 Vol. 600-603

Simulation Study for HTCVD of SiC Using First-Principles Calculation and Thermo-Fluid Analysis

Kitou, Yasuo, Makino, Emi, Inaba, Kenji, Hosokawa, Norikazu, Hiramatsu, Hidehiko, Hasegawa, Jun, Onda, Shoichi, Tsuboi, Hideyuki, Takaba, Hiromitsu, Miyamoto, Akira
Наскільки Вам сподобалась ця книга?
Яка якість завантаженого файлу?
Скачайте книгу, щоб оцінити її якість
Яка якість скачаних файлів?
Том:
600-603
Рік:
2009
Мова:
english
Журнал:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.600-603.47
Файл:
PDF, 295 KB
english, 2009
Виконується конвертація в
Конвертація в не вдалась