Fabrication of Si nano-pillar array through Ni nano-dot...

Fabrication of Si nano-pillar array through Ni nano-dot mask using inductively coupled plasma

Mun Ja Kim, Jin Seung Lee, Seong Kyu Kim, G.Y. Yeom, Ji-Beom Yoo, Chong-Yun Park

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

475

Рік:

2005

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/j.tsf.2004.07.026

Файл:

PDF, 340 KB

english, 2005

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась