Comparison of radio-frequency and direct-current magnetron sputtered thin In2O3 : Sn films
Zhaohui Qiao, Dieter MergelТом:
484
Рік:
2005
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1016/j.tsf.2005.02.006
Файл:
PDF, 302 KB
english, 2005