Optical Characterization of 4H-SiC by Variable Angle of Incidence Spectroscopic Ellipsometry
Lindquist, O.P. Alexander, Arwin, H., Forsberg, Urban, Bergman, J. Peder, Järrendahl, K.Том:
338-342
Рік:
2000
Мова:
english
Журнал:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.338-342.575
Файл:
PDF, 339 KB
english, 2000