Deposition of titanium/titanium oxide clusters produced by magnetron sputtering
Ibrahimkutty Shyjumon, Manesh Gopinadhan, Christiane A. Helm, Boris M. Smirnov, Rainer HipplerТом:
500
Рік:
2006
Мова:
english
Сторінки:
11
DOI:
10.1016/j.tsf.2005.11.006
Файл:
PDF, 447 KB
english, 2006