Fabrication of nano-scale phase change materials using nanoimprint lithography and reactive ion etching process
Ki-Yeon Yang, Jong-Woo Kim, Sung-Hoon Hong, Jae-Yeon Hwang, Heon LeeТом:
518
Рік:
2010
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2009.10.030
Файл:
PDF, 926 KB
english, 2010