Extended study of the step-bunching mechanism during the homoepitaxial growth of SiC
M. Camarda, A. La Magna, A. Severino, F. La ViaТом:
518
Рік:
2010
Мова:
english
Сторінки:
1
DOI:
10.1016/j.tsf.2009.10.078
Файл:
PDF, 739 KB
english, 2010