Influence of thermal oxidation on the interfacial properties of ultrathin strained silicon layers
V. Ioannou-Sougleridis, N. Kelaidis, D. Skarlatos, C. Tsamis, S.N. Georga, C.A. Krontiras, Ph. Komninou, Th. Speliotis, P. Dimitrakis, B. Kellerman, M. SeacristТом:
519
Рік:
2011
Мова:
english
Сторінки:
8
DOI:
10.1016/j.tsf.2011.02.085
Файл:
PDF, 1.59 MB
english, 2011