Detection of Threading Dislocations by EBIC in a SiGe Epilayer with Graded Buffer
Kittler, Martin, Ulhaq-Bouillet, C., Hersener, J., Schäffler, FriedrichТом:
32-33
Рік:
1993
Журнал:
Solid State Phenomena
DOI:
10.4028/www.scientific.net/SSP.32-33.559
Файл:
PDF, 371 KB
1993