Cantilever influence suppression of contactless IC-testing by electric force microscopy
V. Wittpahl, U. Behnke, B. Wand, W. MertinТом:
38
Рік:
1998
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/s0026-2714(98)00118-8
Файл:
PDF, 427 KB
english, 1998