A novel fast technique for detecting voiding damage in IC interconnects
S. Foley, L. Floyd, A. MathewsonТом:
40
Рік:
2000
Мова:
english
Сторінки:
11
DOI:
10.1016/s0026-2714(99)00152-3
Файл:
PDF, 1.02 MB
english, 2000