Design and Fabrication of Nanoscale IDTs Using Electron Beam Technology for High-Frequency SAW Devices
Shih, Wei-Che, Chen, Ying-Chung, Chang, Wei-Tsai, Cheng, Chien-Chuan, Liao, Pei-Chun, Kao, Kuo-ShengТом:
2014
Рік:
2014
Мова:
english
Журнал:
Journal of Nanomaterials
DOI:
10.1155/2014/643672
Файл:
PDF, 5.41 MB
english, 2014