α-SiC layers grown on silicon via nano-sized silicon nitride precursor route
Ruchuan Liu, Beifang Yang, Zhengping Fu, Qian Chen, Lin Hong, Ming Li, Zongcai Liu, Yaozhong RuanТом:
345
Рік:
1999
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/s0040-6090(99)00047-4
Файл:
PDF, 147 KB
english, 1999