Investigation of fluorine three-dimensional redistribution during solid-phase-epitaxial–regrowth of amorphous Si
Panciera, F., Hoummada, K., Mastromatteo, M., De Salvador, D., Napolitani, E., Boninelli, S., Impellizzeri, G., Priolo, F., Carnera, A., Mangelinck, D.Том:
101
Рік:
2012
Мова:
english
Журнал:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.4751254
Файл:
PDF, 1.98 MB
english, 2012
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
