Silicon resonant microcantilevers for absolute pressure measurement
S. Bianco, M. Cocuzza, S. Ferrero, E. Giuri, G. Piacenza, C. F. Pirri, A. Ricci, L. Scaltrito, D. Bich, A. Merialdo, P. Schina, R. CorrealeРік:
2006
Мова:
english
DOI:
10.1116/1.2214698
Файл:
PDF, 543 KB
english, 2006