Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024 Про збір коштів

Hybrid high resolution lithography (e-beam/deep...

  • Main
  • Hybrid high resolution lithography...

Hybrid high resolution lithography (e-beam/deep ultraviolet) and etch process for the fabrication of stacked nanowire metal oxide semiconductor field effect transistors

S. Pauliac-vaujour, C. Comboroure, C. Vizioz, S. Barnola, P. Brianceau, V. M. Alvaro, C. Dupré, T. Ernst
Наскільки Вам сподобалась ця книга?
Яка якість завантаженого файлу?
Скачайте книгу, щоб оцінити її якість
Яка якість скачаних файлів?
Рік:
2008
Мова:
english
DOI:
10.1116/1.3021392
Файл:
PDF, 1.40 MB
english, 2008
Виконується конвертація в
Конвертація в не вдалась