Microstructures etched in doped TMAH solutions
S. Brida, A. Faes, V. Guarnieri, F. Giacomozzi, B. Margesin, M. Paranjape, G.U. Pignatel, M. ZenТом:
53
Рік:
2000
Мова:
english
Сторінки:
5
DOI:
10.1016/s0167-9317(00)00375-0
Файл:
PDF, 961 KB
english, 2000