Advanced cleaning for the growth of ultrathin gate oxide

P.W. Mertens, T. Bearda, M. Houssa, L.M. Loewenstein, I. Cornelissen, S. De Gendt, K. Kenis, I. Teerlinck, R. Vos, M. Meuris, M.M. Heyns

Наскільки Вам сподобалась ця книга?

Яка якість завантаженого файлу?

Скачайте книгу, щоб оцінити її якість

Яка якість скачаних файлів?

Том:

Рік:

1999

Мова:

english

Сторінки:

DOI:

10.1016/s0167-9317(99)00370-6

Файл:

PDF, 664 KB

english, 1999

Виконується конвертація в

Конвертація в не вдалась