Spatial light modulator for maskless optical projection lithography
G. P. Watson, V. Aksyuk, M. E. Simon, D. M. Tennant, R. A. Cirelli, W. M. Mansfield, F. Pardo, D. O. Lopez, C. A. Bolle, A. R. Papazian, N. Basavanhally, J. Lee, R. Fullowan, F. Klemens, J. Miner, A.Рік:
2006
Мова:
english
DOI:
10.1116/1.2387156
Файл:
PDF, 671 KB
english, 2006
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
