The investigation of properties of silicon nitride films obtained by RPECVD from hexamethyldisilazane
N.I. Fainer, Yu.M. Rumyantsev, M.L. Kosinova, G.S. Yurjev, E.A. Maximovskii, F.A. KuznetsovТом:
113-114
Рік:
1997
Мова:
english
Сторінки:
4
DOI:
10.1016/s0169-4332(96)00825-2
Файл:
PDF, 386 KB
english, 1997
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
