A conceptual design for a microelectronic ionization vacuum gauge
Dan Nicolaescu, Valeriu Filip, Fumio OkuyamaТом:
126
Рік:
1998
Мова:
english
Сторінки:
11
DOI:
10.1016/s0169-4332(97)00690-9
Файл:
PDF, 414 KB
english, 1998