Structural modifications of hafnium oxide films prepared by ion beam assisted deposition under high energy oxygen irradiation
Shoji Miyake, Ippei Shimizu, Rafael R. Manory, Takanori Mori, Giora KimmelТом:
146-147
Рік:
2001
Мова:
english
Сторінки:
6
DOI:
10.1016/s0257-8972(01)01392-5
Файл:
PDF, 392 KB
english, 2001
File converter
Більше результатів пошуку
More benefits 
